Simultaneous epitaxial growth of anatase and rutile TiO2 thin films by RF helicon magnetron sputtering

Lei Miao, Sakae Tanemura, Ping Jin, Kenji Kaneko, Asuka Terai, Nataliya Nabatova-Gabain

研究成果: Article査読

36 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Simultaneous epitaxial growth of anatase and rutile TiO<sub>2</sub> thin films by RF helicon magnetron sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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