Source of surface morphological defects formed on 4H-SiC homoepitaxial films

Tatsuya Okada, Kengo Ochi, Hiroyuki Kawahara, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Makoto Yamaguchi, Kouichi Higashimine, Tsunenobu Kimoto

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Source of surface morphological defects formed on 4H-SiC homoepitaxial films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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