Sputter deposition of YSZ epitaxial buffer layer at wafer level for piezoelectric MEMS utilizing PZT-based monocrystalline thin film

Shinsuke Nishizawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka

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フィンガープリント

「Sputter deposition of YSZ epitaxial buffer layer at wafer level for piezoelectric MEMS utilizing PZT-based monocrystalline thin film」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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