本文言語 | English |
---|---|
ページ(範囲) | 788-789 |
ジャーナル | Extended Abstracts of 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) |
出版ステータス | Published - 2004 9月 1 |
Stable Observation of the Evolution of Leakage Spots in HfO2/SiO2 stacked structures
K. Kyuno, K. Kita, A. Toriumi
研究成果: Article › 査読