Study of PZT Thin Film Deposition

Katsuhiro Tanaka, Kazumasa Shibata, Shinya Ishikawa, Kenji Suita, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)45-46
ジャーナルProceedings of the 3rd Symposium on Micro Environmental Machine Systems (μEMS2010)
出版物ステータスPublished - 2010 6 29

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