Suppression of crack generation in GaN/AlGaN distributed Bragg reflector on sapphire by the insertion of GaN/AlGaN superlattice grown by metal-organic chemical vapor deposition

Naoyuki Nakada, Hiroyasu Ishikawa, Takashi Egawa, Takashi Jimbo

研究成果: Letter査読

34 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Suppression of crack generation in GaN/AlGaN distributed Bragg reflector on sapphire by the insertion of GaN/AlGaN superlattice grown by metal-organic chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy