Suppression of leakage current and moisture absorption of la 2O3 films with ultraviolet ozone post treatment

Yi Zhao, Koji Kita, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果: Article査読

37 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Suppression of leakage current and moisture absorption of la 2O3 films with ultraviolet ozone post treatment」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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