Suppression of leakage current and moisture absorption of la 2O3 films with ultraviolet ozone post treatment

Yi Zhao, Koji Kita, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果査読

37 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Suppression of leakage current and moisture absorption of la <sub>2</sub>O<sub>3</sub> films with ultraviolet ozone post treatment」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Physics & Astronomy