本文言語 | English |
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ジャーナル | Japanese Journal of Applied Physics Letters 46 |
出版ステータス | Published - 2007 7月 1 |
Suppression of leakage current and moisture absorption of La2O3 films with ultraviolet ozone post treatment
Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno
研究成果: Article › 査読