Suppression of leakage current and moisture absorption of La2O3 films with ultraviolet ozone post treatment

Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics Letters 46
出版ステータスPublished - 2007 7 1

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