Surface structures of femtosecond laser irradiated 4H-SiC crystal

Takuro Tomita, Keita Kinoshita, Shigeki Matsuo

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

抄録

Femtosecond laser induced periodic structures are studied in 4H-SiC. The pulse energy and the pulse interval dependence of laser induced structure are observed by scanning electron microscopy. The formation processes of these structures are discussed.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルPacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/Pacific Rim 2005
ページ1744-1745
ページ数2
DOI
出版ステータスPublished - 2005 12月 1
外部発表はい
イベントPacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/Pacific Rim 2005 - Tokyo, Japan
継続期間: 2005 7月 112005 7月 15

出版物シリーズ

名前Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest
2005

Conference

ConferencePacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/Pacific Rim 2005
国/地域Japan
CityTokyo
Period05/7/1105/7/15

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Surface structures of femtosecond laser irradiated 4H-SiC crystal」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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