Synthesis of Ti-Al-Si-N nanocomposite films using liquid injection PECVD from alkoxide precursors

Y. S. Li, S. Shimada, H. Kiyono, A. Hirose

研究成果: Article査読

49 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Synthesis of Ti-Al-Si-N nanocomposite films using liquid injection PECVD from alkoxide precursors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds