TEM characterization of microstructure and composition of nanostructures formed by electron beam induced deposition with tetrakis(trifluorophoshite)- metal precursors

M. Takeguchi, M. Shimojo, M. Tanaka, K. Mitsuishi, K. Furuya

研究成果: Conference contribution

本文言語English
ホスト出版物のタイトルDigest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2007; 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC
ページ176-177
ページ数2
DOI
出版ステータスPublished - 2007 12 1
外部発表はい
イベントs20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2007 - Kyoto, Japan
継続期間: 2007 11 52007 11 8

出版物シリーズ

名前Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2007; 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC

Conference

Conferences20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2007
国/地域Japan
CityKyoto
Period07/11/507/11/8

ASJC Scopus subject areas

  • ハードウェアとアーキテクチャ
  • 電子工学および電気工学

引用スタイル