TEM sample preparation using a new nanofabrication technique combining electron beam induced deposition and low energy ion milling

K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Tanaka, M. Takeguchi, M. Song, K. Furuya

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)545-548
ジャーナルMicrosc. Microanal
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出版ステータスPublished - 2006 1 1

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