The design and experiment of ion generator power supply for vacuum sputtering

Wen Guang Chen, Yi Hua Rao, Chang Hong Shan, Goro Fujita, Takemoto Yasutoshi

研究成果: Conference contribution

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「The design and experiment of ion generator power supply for vacuum sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science