The optimized SMA micro pump chip applicable to liquids and gases

K.Ikuta K.Ikuta, T.Hasegawa T.Hasegawa, Takao Adachi, Tadahiro Hasegawa

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)916-919
ジャーナルThe 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators
出版物ステータスPublished - 2001 6 1

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