The size dependence of the nano-dots formed by electron beam induced deposition on the partial pressure of the precursor

M. Tanaka, M. Shimojo, K. Mitsuishi, K. Furuya

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)543-546
ジャーナルApplied Physics A
A
出版ステータスPublished - 2004 1 1

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