Thermal Analysis of the Double-Crucible Method in Continuous Silicon Czochralski Processing: I. Experimental Analysis

Naoki Ono, Michio Kida, Yoshiaki Arai, Kensho Sahira

研究成果: Article査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Thermal Analysis of the Double-Crucible Method in Continuous Silicon Czochralski Processing: I. Experimental Analysis」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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