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Thermal Analysis of the Double-Crucible Method in Continuous Silicon Czochralski Processing
Naoki Ono
, Michio Kida, Yoshiaki Arai, Kensho Sahira
研究成果
:
Article
›
査読
6
被引用数 (Scopus)
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Thermal Analysis of the Double-Crucible Method in Continuous Silicon Czochralski Processing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Chemical Compounds
Application
23%
Crucible
89%
Flow
48%
Isotherm
57%
Quartz
66%
Simulation
47%
Thermoanalysis
64%
Engineering & Materials Science
Computer simulation
8%
Convection
14%
Crucibles
100%
Crystals
14%
Forced convection
17%
Isotherms
18%
Laminar flow
15%
Quartz
16%
Silicon
59%
Temperature
6%
Thermal gradients
15%
Thermoanalysis
78%
Turbulent flow
15%