Thermal Analysis on Double-Crucible Method in Continuous Silicon CZ Technology I

Naoki Ono, Michio Kida, Yoshiaki Arai, Kensho Sahira

研究成果: Article査読

7 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)2101-2105
ジャーナルJournal of the Electrochemical Society
140
出版ステータスPublished - 1993 7月 1

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