Thermal Analysis on Double-Crucible Method in Continuous Silicon CZ Technology II

Naoki Ono, Micho Kida, Yoshiaki Arai, Kensho Sahira

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)2106-2111
ジャーナルJournal of the Electrochemical Society
140
出版ステータスPublished - 1993 7 1

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