Three D Flexible Vibration Structure Design and Its Fabrication for Micro Energy Harvesting

Koei Takeda, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)175-178
ジャーナルProceedings of PowerMEMS2010
出版ステータスPublished - 2010 12 1

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