Three-dimensional micro modification and selective etching of crystalline silicon using 1.56-μm subpicosecond laser pulses

Shigeki Matsuo, Keiji Oda, Yoshiki Naoi

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント Three-dimensional micro modification and selective etching of crystalline silicon using 1.56-μm subpicosecond laser pulses' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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