Three-dimensional micro modification and selective etching of crystalline silicon using 1.56-μm subpicosecond laser pulses

Shigeki Matsuo, Keiji Oda, Yoshiki Naoi

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Three-dimensional micro modification and selective etching of crystalline silicon using 1.56-μm subpicosecond laser pulses」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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