Trends of Interlayer Dielectric Film Technologies in Ultra-Large-Scale Integrated Circuits (ULSIs)

T.Homma T.Homma, Tetsuya Homma

機能制御ｼｽﾃﾑ専攻

研究成果: Article

元の言語	English
ジャーナル	Default journal
出版物ステータス	Published - 1997 11 21

これを引用

T.Homma, T. H., & Homma, T. (1997). Trends of Interlayer Dielectric Film Technologies in Ultra-Large-Scale Integrated Circuits (ULSIs). Default journal.