Uniform (111) textured Cu CVD on vacuum annealed Cu seed layer

K. Ueno, A. Sekiguchi, A. Kobayashi

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Uniform (111) textured Cu CVD on vacuum annealed Cu seed layer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science