Water vapor-controlled thermal plasma chemical vapor deposition of double-layered TiN/PSZ coatings on Si and WC-Co substrates

Takanori Sakamoto, Shiro Shimada, Hajime Kiyono, Jiro Tsujino, Isao Yamazaki

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Water vapor-controlled thermal plasma chemical vapor deposition of double-layered TiN/PSZ coatings on Si and WC-Co substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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