Xenon flash lamp annealing of poly-Si thin films

Fujio Terai, Shigeki Matunaka, Akihiko Tauchi, Chikako Ichimura, Takao Nagatomo, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

39 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Xenon flash lamp annealing of poly-Si thin films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds